Spectroscopie térahertz: Application aux mesures de films minces PDF, EPUB

L’exposition du métamatériau à la source de champ proche entraîne une diminution significative du nombre de résonateurs excités.


ISBN: 6131547904.

Nom des pages: 227.

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Nous présentons des études sur la spectroscopie térahertz des matériaux en films minces dont les épaisseurs sont inférieures à la longueur d’onde térahertz. Pour obtenir la sensibilité nécessaire, nous mettons en ?uvre des techniques de renforcement du champ électromagnétique au voisinage du film mince, grâce à l’excitation de résonances électromagnétiques. Après une introduction, dans la 2éme et la 3éme parties de ce travail, nous présentons un état de l’art des méthodes de caractérisation, ainsi que la technique expérimentale employée. Dans la quatrième partie, nous étudions comme dispositif de renforcement électromagnétique un guide d’onde en silicium sur lequel est gravé un réseau de couplage. Nous avons pu déterminer avec précision les paramètres diélectriques de films minces. Nous indiquons comment optimiser ce dispositif pour mesurer des films submicroniques. Dans la dernière partie de ce travail, nous étudions les propriétés électromagnétiques d’un réseau métallique à deux dimensions. Nous montrons qu’un tel dispositif permet de caractériser un film mince posé sur une de ses faces, mais peut aussi servir de filtre spectral pour les ondes térahertz.

S7 montre des exemples d’extraction de mobilité à partir des caractéristiques de transfert à différentes températures. La figure 3 (a) montre le film d’échantillon déposé sur le métamatériau fabriqué. Les figures 12 et 13 montrent les erreurs prédites avec et sans bruit.

Les approches non littéraires sont beaucoup plus efficaces que les approches itératives. Dans le cas où la zone d’échantillon est plus petite que la tache du faisceau, les deux groupes des résonateurs sont excités. Les angles de sortie dans l’air pour BK7 et PC sont respectivement d’environ 46,58 et 448. Les courbes de sortie (Fig. 2, C et D) affichent l’hystérésis sur toute la plage de température, ce qui montre que l’hystérésis augmente avec l’augmentation de la tension et de la température de la grille.